Park Systems, постачальник атомно-силової мікроскопії (AFM) та нанометрологічних рішень оголосила про запуск лінійки продуктів Park NANOstandard™. Ця нова лінійка продуктів надає калібрувальні стандартні зразки для вимірювань AFM і SEM, що дозволяє користувачам точно вимірювати та аналізувати свої зразки. Стандарт Park NANO еквівалентний продуктам, що відстежуються NIST, для вимірювання серед іншого критичних розмірів (CD) напівпровідникових структур.
Парк НАНОстандарт
Продукти Park NANOstandard включають AFM Tip Characterizer (AFMTC) і High Magnification Calibration (HMC). AFMTC — це калібрувальний зразок, призначений для оцінки радіуса та кута напівконуса наконечника атомно-силового мікроскопа (АСМ). Це нано-візерунок із шириною лінії від 10 нм до 50 нм. Він простежується Корейським науково-дослідним інститутом стандартів і науки (KRISS) для ISO 17034:2016 і простежується через постійну атомної гратки в кремнієвій підкладці за допомогою HR-TEM. Також надається програмне забезпечення для калібрування та розрахунку невизначеності.
“Продукція Park NANOstandard допоможе нашим клієнтам забезпечити точність своїх вимірювань і підвищити якість продукції.”
Стандартний зразок HMC виготовляється з полікристалічного кремнію та має п’ять сертифікованих значень для ширини лінії в діапазоні від 20 нм до 80 нм і п’ять сертифікованих значень для значень кроку в діапазоні від 100 нм до 900 нм. Стандартний зразок HMC простежується до KRISS для ISO 17034:2016. Його також можна простежити через постійну атомної гратки в кремнієвій підкладці за допомогою трансмісійної електронної мікроскопії високої роздільної здатності (HR-TEM).
Продукція Park NANOstandard виробляється Kims Reference Corp. у співпраці з Park Systems, провідний виробник сучасних еталонних матеріалів для нановимірювань і аналізу поверхні. “Продукція Park NANOstandard допоможе нашим клієнтам забезпечити точність вимірювань і підвищити якість продукції,” сказав віце-президент із маркетингу продуктів Річард Лі. “Ми пишаємося тим, що співпрацюємо з Kims Reference Corp., щоб вивести на ринок цю інноваційну лінійку продуктів.”
Park Systems прагне надавати своїм клієнтам продукти та послуги найвищої якості. . Лінійка продуктів Park NANOstandard розроблена для забезпечення надійного й точного калібрування систем AFM і SEM, що дозволяє користувачам точно вимірювати й аналізувати свої зразки.
Источник: electronicproducts.com
